肯定有人會(huì)問(wèn)，何為機(jī)械泵？不管是機(jī)械泵還是擴(kuò)散泵都屬于真空泵，一般機(jī)械泵達(dá)到的真空泵較低，在10-4乇左右，而擴(kuò)散泵的真空度較高，在10-8乇左右，擴(kuò)散泵需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵，以達(dá)到更高的真空度，就像水環(huán)真空泵配羅茨真空泵組成羅茨水環(huán)真空機(jī)組一樣，只是真空度的不同而已，一般抽取儲(chǔ)存液氧的氧氣瓶里面夾層的真空需要這種很高的真空機(jī)組。
關(guān)于真空度的測(cè)量，用熱偶計(jì)(或高壓強(qiáng)電離計(jì))測(cè)中真空，用電離計(jì)測(cè)高真空。有一種玻璃高真空系統(tǒng)。其特點(diǎn)是玻璃系統(tǒng)制造方便、內(nèi)部清潔，適合于小型科研實(shí)臉。為避免機(jī)械泵振動(dòng)的影響，機(jī)械泵與雙通活栓之間采用橡皮管連接。被排容器接在臺(tái)面上部，并用烘箱蓋住烘烤。雙通活栓的接法，應(yīng)使機(jī)械泵或通擴(kuò)散泵、或通大氣。這樣，當(dāng)系統(tǒng)使用完畢時(shí)，將活栓通向大氣，防止機(jī)械泵返油;同時(shí)擴(kuò)散泵得以保持真空。有些系統(tǒng)需要真空度較高，可在擴(kuò)散泵上加液氮冷阱。抽氣泵用機(jī)械泵和金屬擴(kuò)散泵，真空度測(cè)量用熱偶計(jì)和電離計(jì)。與玻璃系統(tǒng)不同之處在于：
1)由于真空室較大，如預(yù)抽時(shí)氣體也要通過(guò)擴(kuò)散泵再到機(jī)械泵，將因路程長(zhǎng)而需要較多時(shí)
間,需設(shè)置一預(yù)抽閥，使真空室可由此閥直接通機(jī)械泵。預(yù)抽時(shí)，開(kāi)啟此閥將真空室抽氣，達(dá)到預(yù)抽要求后，將此閥關(guān)閉;
2)擴(kuò)散泵較大，返油較嚴(yán)重，通常需要加擋板，如要求更高真空，則可加液氮冷阱;
3)有前置真空容器起前級(jí)壓強(qiáng)穩(wěn)定作用;
4)采用電磁閥，遇到突然停電時(shí)自動(dòng)將真空系統(tǒng)封閉。
