近年來，已開發(fā)出從大氣壓到高真空，僅用一臺泵就能實(shí)現(xiàn)的新型真空泵。但一般來說，為了獲得高真空、超高真空及極高真空，還是串聯(lián)多臺真空泵構(gòu)成機(jī)組形式來完成抽氣任務(wù)的。因此，正確了解泵的工作原理、主要性能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及分類等，對于用戶選擇經(jīng)濟(jì)適用的真空泵是非常重要的。
真空泵是用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。按其工作原理，基本上分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。
氣體傳輸泵，它是一種能使氣體不斷吸入和排出泵外以達(dá)到抽氣口的的真空泵。這種氣體傳輸泵含有容積泵和動量傳輸泵兩大類.
1容積真空泵
容積真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣、壓縮和排氣的裝置。氣體排出前被壓縮，這種泵分為往復(fù)式和旋轉(zhuǎn)式兩種。
(1)往復(fù)式真空泵，利用泵腔內(nèi)活塞的往復(fù)運(yùn)動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱它為活塞式真空泵。
(2)旋轉(zhuǎn)式真空泵，利用泵腔內(nèi)活塞的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，將氣體吸入、壓縮并排出.屬于此類的泵種很多.
1)油封式機(jī)械泵，它是利用油類密封各種運(yùn)動部件的間隙，減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故稱氣鎮(zhèn)式真空泵，按其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為:旋片泵，定片泵，滑閥泵，余擺線泵以及多室旋片泵等。
2)干式真空泵.目前所謂的干式真空，一般通用的說法是:能在大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作的真空泵;在泵的抽氣流道(如泵腔)中，不能使用任何油類和密封液體.排氣口與大氣相通，能夠連續(xù)向大氣中排氣的泵，即稱為干式真空泵。按其工作原理分，也有干式容積真空泵，如多級羅茨泵、多級活塞泵、爪型泵、螺桿泵、渦旋泵等;此外還有動最傳輸式干式泵二如渦輪干式泵，離心干式泵等.這種泵的抽氣不再有油的污染了，是近期開發(fā)研制較多的泵種。
3)液環(huán)真空泵，帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，把液體(水或油類)拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子上的葉片形成了容積周期性變化的幾個(gè)小容積實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣.由于液環(huán)起到壓縮氣體的作用故又稱它為液體活塞真空泵。
4)羅茨真空泵，泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間均保持有一定的間隙。它屬于無內(nèi)壓縮式的真空泵.按用途又分為濕式羅茨泵，直排大氣式羅茨泵和機(jī)械增壓泵等類型。
