根據(jù)真空泵的性能，在各種應(yīng)用的真空泵系統(tǒng)中它可作為下列泵使用。
(1)主泵。在真空系統(tǒng)中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。
(2)粗抽泵。從大氣壓開始，降低系統(tǒng)的壓力達到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空度。
(3)前級泵。用以使另一個泵的前級壓力維持在其最高許可的前級壓力以下的真空泵。前
級泵也可以作粗抽泵使用。
(4)維持泵。在真空系統(tǒng)中，當(dāng)抽氣量很小時，不能有效地利用主要前級某，為此，在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所借之低壓
的真空泵。
(5)粗(低)真空泵。從大氣壓開始.降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。
(6)高真空泵。在高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。
(7)超高真空泵。在超高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。
(8)增壓泵:裝于高直空泵和低直空泵之間，用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍內(nèi)的抽氣量或降低前級泵容里要求的真空泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。 |
